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本发明公开了一种氮化铝滤波器和氮化镓功放集成器件及其制备方法，器件包括衬底，外延层和换能器；衬底上设置氮化镓沟道层，沟道层由相互隔离的第一沟道层和第二沟道层组成；第一沟道层上依次堆叠掩埋氧化层和氮化铝压电层组成第一外延层，第一外延层与衬底构...
该专利属于西安电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安电子科技大学授权不得商用。

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