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本技术揭示一种能防止灰烬或颗粒形态的蒸镀材料的氧化物喷射到喷嘴外的颗粒过滤器。所述颗粒过滤器包括：过滤器壳体；下网眼板，配置在过滤器壳体内；复数个珠子(bead)，配置在下网眼板上；上过滤板，配置在复数个珠子上，结合到过滤器壳体。...
该专利属于艾尔法普拉斯株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过艾尔法普拉斯株式会社授权不得商用。

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