下载一种抑制腐蚀的半导体芯片清洗剂及其制备方法与应用的技术资料

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本发明涉及一种抑制腐蚀的半导体芯片清洗剂及其制备方法与应用。所述的清洗剂,按照重量份计算包括如下组分:腐蚀抑制组合物5‑20份;有机胺20‑50份;络合剂1‑10份;极性有机溶剂20‑50份;去离子水15‑40份;腐蚀抑制组合物为壳多糖类物...
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