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一种抑制腐蚀的半导体芯片清洗剂及其制备方法与应用技术
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文档序号:43501123
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本发明涉及一种抑制腐蚀的半导体芯片清洗剂及其制备方法与应用。所述的清洗剂,按照重量份计算包括如下组分:腐蚀抑制组合物5‑20份;有机胺20‑50份;络合剂1‑10份;极性有机溶剂20‑50份;去离子水15‑40份;腐蚀抑制组合物为壳多糖类物...
该专利属于浙江奥首材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江奥首材料科技有限公司授权不得商用。
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