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本发明涉及一种薄膜晶体管液晶显示器阵列基板的制造方法，包括：沉积栅金属薄膜，通过构图工艺形成包括栅线、栅电极和公共电极线的图形；依次沉积栅绝缘层、半导体层、掺杂半导体层和源漏金属薄膜，采用半色调或灰色调掩模板通过构图工艺形成包括数据线、源电...
该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。

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