温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请提供了一种体声波谐振器及其制作方法，该体声波谐振器包括：基底、空腔、键合层、谐振体及布拉格反射层；基底上设置有一空腔；键合层围绕空腔设置在基底上，与基底的上表面键合；谐振体包括：上电极、下电极及压电层；下电极的一侧设置在空腔第一侧的键...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。