一种体声波谐振器及其制作方法技术

本申请提供了一种体声波谐振器及其制作方法，该体声波谐振器包括：基底、空腔、键合层、谐振体及布拉格反射层；基底上设置有一空腔；键合层围绕空腔设置在基底上，与基底的上表面键合；谐振体包括：上电极、下电极及压电层；下电极的一侧设置在空腔第一侧的键合层上；压电层设置在下电极及空腔第二侧的键合层上；上电极部分覆盖压电层，且与位于键合层上的下电极不重合；第一侧与第二侧相对；上电极、下电极及压电层向空腔弯曲；布拉格反射层设置在谐振体上。该方法用于制作该体声波谐振器。本申请采用布拉格反射层与空腔相互配合，实现了更好的密封和应力隔离，谐振体向空腔弯曲，进一步实现了应力隔离与释放，能够防止谐振器频率漂移。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体及微电子，尤其涉及一种体声波谐振器及其制作方法。

技术介绍

1、微型谐振器目前已经被广泛的应用于各类小型化的电子设备。压电mems体声波谐振器具有高品质因数、小尺寸和低成本的优势，可以用于振荡器、滤波器和传感器。如何实现不受外界环境干扰、谐振频率稳定的体声波谐振器是业内的关注点之一。

2、现有技术中，传统的体声波谐振器包括：三明治结构的谐振体(压电层和上下电极)和设置在基底中的声反射结构，这种谐振器的谐振体表面容易受到颗粒、气体吸附、湿气等影响，进而改变谐振器的谐振频率；当声反射结构为布拉格反射层时，谐振体还容易受到由基底通过布拉格反射层引入的应力作用，也会导致谐振器的谐振频率改变。

技术实现思路

1、针对现有技术中的问题，本申请提供一种体声波谐振器及其制作方法，能够至少部分地解决现有技术中存在的问题。

2、第一方面，本申请提供一种体声波谐振器，包括：基底、空腔、键合层、谐振体及布拉格反射层；

3、所述基底上设置有一空腔；

4、所述键合层围绕所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括：基底、空腔、键合层、谐振体及布拉格反射层；

2.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述压电层的下表面低于所述空腔的上表面。

3.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述布拉格反射层包括：第一反射层及第二反射层；

4.根据权利要求3所述的体声波谐振器，其特征在于，所述布拉格反射层的第一反射层与第二反射层重合的区域具有平整表面。

5.根据权利要求3所述的体声波谐振器，其特征在于，所述布拉格反射层距离所述空腔最远的一层具有平整表面。

6.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其...

【技术特征摘要】

1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括：基底、空腔、键合层、谐振体及布拉格反射层；

2.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述压电层的下表面低于所述空腔的上表面。

3.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述布拉格反射层包括：第一反射层及第二反射层；

4.根据权利要求3所述的体声波谐振器，其特征在于，所述布拉格反射层的第一反射层与第二反射层重合的区域具有平整表面。

5.根据权利要求3所述的体声波谐振器，其特征在于，所述布拉格反射层距离所述空腔最远的一层具有平整表面。

6.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，还包括：围绕所述空腔设置的上沟槽。

7.根据权利要求6所述的体声波谐振...

【专利技术属性】
技术研发人员：庞慰，张孟伦，宫少波，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：