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本发明提供一种制备锭状靶材的方法、使用该锭状靶材形成耐电浆腐蚀层的方法、与包括该耐电浆腐蚀层的耐电浆表面结构。在制备锭状靶材的方法中，其包括以下步骤。首先选择多种粒径为20微米到100微米之耐电浆腐蚀材料，添加有机溶剂，制备成浆料，再用球磨...
该专利属于翔名科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过翔名科技股份有限公司授权不得商用。

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