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本发明属于半导体技术领域，具体涉及处理半导体的装置，尤其涉及籽晶片定量腐蚀装置及其操作方法。本发明提供了一种籽晶片定量腐蚀装置，包括：反应筒，其内注有腐蚀剂；籽晶杆，其贯穿所述密封盘，且适于相对反应筒上下滑动；籽晶片，其设置在所述籽晶杆下端...
该专利属于常州臻晶半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州臻晶半导体有限公司授权不得商用。

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