下载具有中空腔的半导体器件的技术资料

文档序号:43480156

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本发明涉及一种半导体器件(100),包括:半导体衬底(110);形成于所述半导体衬底(110)上方的氮化铝镓(Aluminum Gallium‑Nitride,AlGaN)背势垒层(121);形成于所述AlGaN背势垒层(121)上的GaN...
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