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本发明提供一种形成曝光设备的一部分的结构体，所述曝光设备包括构造成在保持原稿的同时在基部上移动的台和构造成将原稿的图案图像投影到基板上的投影光学系统，所述结构体包括：板，所述板布置在所述台的移动路径与所述投影光学系统之间；以及多个支撑构件，...
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