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一种高电子迁移率晶体管,包含半导体通道层和半导体阻障层依序设置于基底上,源极电极和漏极电极设置于半导体通道层上,半导体盖层设置于半导体阻障层上,第一介电层设置于源极电极、半导体盖层和漏极电极之上,第一导通孔贯穿第一介电层,且向下延伸至半导体...该专利属于世界先进积体电路股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过世界先进积体电路股份有限公司授权不得商用。
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一种高电子迁移率晶体管,包含半导体通道层和半导体阻障层依序设置于基底上,源极电极和漏极电极设置于半导体通道层上,半导体盖层设置于半导体阻障层上,第一介电层设置于源极电极、半导体盖层和漏极电极之上,第一导通孔贯穿第一介电层,且向下延伸至半导体...