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本发明适用于化学气相沉淀技术领域，提供了一种碳化硅外延化学气相沉积系统供气装置，包括沉淀箱、密封盖；两L形导向管之间穿设有与半环形管相适配的供气管组件；沉淀箱周侧面均匀贯穿设置有与密封环插接配合的安装管；安装管端部连通设置有活塞出气组件；沉...
该专利属于江苏岚玥新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏岚玥新材料科技有限公司授权不得商用。

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