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本发明公开了一种倒置薄膜微带结构的TRL校准件及其制备方法，该校准件包括衬底、设于衬底上表面的第一薄膜介质层，设于第一薄膜介质层上表面的PAD接地金属层、PAD金属层和金属标准件；金属标准件的上表面设有第二薄膜介质层，第二薄膜介质层内嵌入有...
该专利属于中国电子科技集团公司第五十五研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第五十五研究所授权不得商用。

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