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文档序号:43469764
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提供能够精度良好地进行分离激光和线激光的位置的修正的激光修正方法。激光修正方法包括如下步骤:一边使激光光学系统(14)相对于对位用工件(W2)沿着加工进给方向进行相对移动,一边进行缘部切割加工并进行中空加工,在对位用工件中,至少激光照射面包...
该专利属于株式会社东京精密所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社东京精密授权不得商用。
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