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本发明公开了一种精确检测和校正扫描离子束平行度的方法和装置，涉及离子注入机，属于半导体集成电路器件制造领域。该检测和校正装置包括平行度校正磁铁、校正磁铁电源、移动法拉第杯、采样法拉第杯，剂量检测器、数字扫描发生器、电机运动控制器、控制计算机...
该专利属于北京中科信电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科信电子装备有限公司授权不得商用。

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