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一种基板处理设备和基板处理方法，其可通过防止在液体处理室和热处理室之间传送基板的主传送机器人传送边缘曝光的基板来增加生产的基板数量。基板处理设备包括：转位模块；缓冲器模块；处理模块；接口模块；转位模块包括：装载端口，其中放置接收基板的容器；...
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