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基板制作方法及超表面透镜技术
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下载基板制作方法及超表面透镜的技术资料
文档序号:43467977
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本发明揭示了一种基板制作方法及超表面透镜,所述基板制作方法包括:提供一基板;在所述基板上形成具有第一宽度的第一凹槽;至少在所述第一凹槽处依次形成第一膜层和第二介质层;所述第二宽度小于所述第一宽度;去除位于所述第二介质体两侧的第一膜层部分,得...
该专利属于苏州山河光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州山河光电科技有限公司授权不得商用。
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