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本申请涉及微机电系统领域，具体涉及一种MEMS微镜及其制造方法，MEMS微镜包括支撑框架、镜面以及驱动组件，驱动组件设有位于支撑框架与镜面之间的驱动结构；驱动结构由至少一个磁致伸缩层和至少一个非磁致伸缩层组合形成，其中非磁致伸缩层配置为贴合...
该专利属于北京理工大学重庆微电子研究院所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学重庆微电子研究院授权不得商用。

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