【技术实现步骤摘要】
本申请涉及微机电系统领域,具体而言,是涉及一种mems微镜及其制造方法。
技术介绍
1、mems(micro-electro-mechanical system,微机电系统)微镜,作为一种mems执行器,是基于微纳加工工艺制造而成的带有微小可驱动镜面的一种光学器件,其镜面在微小驱动力的作用下,可发生扭转或变形,通过偏转一定角度使得光束传播方向发生改变。mems微镜可应用于车载激光雷达、工业、机器人、无人机、医疗器械等领域,如何使mems微镜的结构在保证稳定性和响应速度的前提下,进一步实现简单化、小型化,已成为研究热点。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种mems微镜及其制造方法,旨在解决现有技术中的mems微镜结构难以兼顾工作稳定性好、响应速度快、结构简单、易于小型化的技术问题。
2、为达此目的,本申请采用的技术方案是:
3、提供一种mems微镜,包括:支撑框架;镜面,设于所述支撑框架内;以及驱动组件,设有位于所述支撑框架与所述镜面之间的驱动结构;所述驱动结
...【技术保护点】
1.一种MEMS微镜,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的MEMS微镜,其特征在于,所述驱动组件包括至少两个驱动支架,所述至少两个驱动支架分别连接于所述支撑框架与所述镜面之间且均设有所述驱动结构,其中至少存在一对所述驱动支架分别布置于所述镜面的相对两侧。
3.根据权利要求2所述的MEMS微镜,其特征在于,所述至少两个驱动支架的结构均一致;和/或,所述驱动支架的数量为四个,四个所述驱动支架等间距地环设于所述镜面外周。
4.根据权利要求2或3所述的MEMS微镜,其特征在于,每个所述驱动支架均包括至少一个驱动子支架;所述至少一个驱
...【技术特征摘要】
1.一种mems微镜,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的mems微镜,其特征在于,所述驱动组件包括至少两个驱动支架,所述至少两个驱动支架分别连接于所述支撑框架与所述镜面之间且均设有所述驱动结构,其中至少存在一对所述驱动支架分别布置于所述镜面的相对两侧。
3.根据权利要求2所述的mems微镜,其特征在于,所述至少两个驱动支架的结构均一致;和/或,所述驱动支架的数量为四个,四个所述驱动支架等间距地环设于所述镜面外周。
4.根据权利要求2或3所述的mems微镜,其特征在于,每个所述驱动支架均包括至少一个驱动子支架;所述至少一个驱动子支架分别连接于所述支撑框架与所述镜面之间且均设有所述驱动结构。
5.根据权利要求4所述的mems微镜,其特征在于,每个所述驱动子支架均包括驱动臂、第一连接臂以及第二连接臂,所述驱动臂上设有所述驱动结构;所述驱动臂通过所述第一连接臂连接在所述镜面上,并通过所述第二连接臂连接在所述支撑框架上。
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【专利技术属性】
技术研发人员:李易,焦文龙,江超,姜森林,谢会开,
申请(专利权)人:北京理工大学重庆微电子研究院,
类型:发明
国别省市:
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