温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种用于切片分析的测试结构。该用于切片分析的测试结构设置在包括多个芯片的晶片中;所述测试结构至少包括两个测试图形;所述测试图形与所述芯片内需要切片分析的对应图形相同;所述测试结构具有预设的切片方向,且所述测试结构内的所述测试图形的...该专利属于芯恩(青岛)集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过芯恩(青岛)集成电路有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种用于切片分析的测试结构。该用于切片分析的测试结构设置在包括多个芯片的晶片中;所述测试结构至少包括两个测试图形;所述测试图形与所述芯片内需要切片分析的对应图形相同;所述测试结构具有预设的切片方向,且所述测试结构内的所述测试图形的...