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本技术属于测量仪领域，具体涉及一种半导体晶圆片平面测量仪，解决了现有技术中存在稳定性差和实用性差的问题，包括底座，所述底座的顶部分别通过螺丝固定连接有立板、两个对称布置的加强筋以及安装座，两个所述加强筋的一侧同时和所述立板的一侧固定连接，所...
该专利属于苏州普瑞斯通智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州普瑞斯通智能科技有限公司授权不得商用。

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