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本发明实施例公开了氮化硼基电容式湿度传感器及其制备方法；制备方法包括：在聚对苯二甲酸乙二醇酯衬底上蒸镀金层；刻蚀金层，在聚对苯二甲酸乙二醇酯衬底上形成金叉指电极；将氮化硼分散液旋涂在叉指电极上，得到氮化硼基电容式湿度传感器。氮化硼基电容式湿...
该专利属于郑州大学所有，仅供学习研究参考，未经过郑州大学授权不得商用。

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