【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于湿度传感器，具体涉及氮化硼基电容式湿度传感器及其制备方法。
技术介绍
1、湿度是一个与人类生活密切相关的物理量，对人类健康和各行各业都有重要的影响。湿度传感器作为一种重要的环境监测设备，在工业、农业、家居和医疗等多个领域得到了广泛应用。目前，市场上的湿度传感器主要分为电阻式和电容式等几大类。电阻式湿度传感器通过湿度引起的材料电阻变化来测量湿度，而电容式湿度传感器则利用湿度对电容器电容值的影响来进行检测。相比于电阻式传感器，电容式传感器具有更高的稳定性，更低的功耗，更强的抗干扰能力和更长的使用寿命。
2、随着科技的发展，湿度传感器的技术水平不断提高，性能也逐步优化。在精度、响应速度、稳定性和可靠性等方面取得了显著的进步。然而，现有的湿度传感器在实际应用中仍然面临一些挑战，如环境适应性差、测量范围有限、抗干扰能力弱等。此外，在一些极端环境下，如高温、高湿、腐蚀性气体环境中，湿度传感器的性能易受到影响，从而导致测量数据不准确。
技术实现思路
1、有鉴于此，一方面，一些实...
【技术保护点】
1.氮化硼基电容式湿度传感器的制备方法，其特征在于，包括步骤：
2.根据权利要求1所述的氮化硼基电容式湿度传感器的制备方法，其特征在于，所述氮化硼的亲水化处理方法包括：
3.根据权利要求1所述的氮化硼基电容式湿度传感器的制备方法，其特征在于，所述金叉指电极的叉指间距为100μm。
4.根据权利要求1所述的氮化硼基电容式湿度传感器的制备方法，其特征在于，所述氮化硼分散液中的氮化硼为粒径为100～200nm的六方氮化硼纳米片。
5.根据权利要求1所述的氮化硼基电容式湿度传感器的制备方法，其特征在于，步骤S1中，在聚对苯二甲酸...
【技术特征摘要】
1.氮化硼基电容式湿度传感器的制备方法，其特征在于，包括步骤：
2.根据权利要求1所述的氮化硼基电容式湿度传感器的制备方法，其特征在于，所述氮化硼的亲水化处理方法包括：
3.根据权利要求1所述的氮化硼基电容式湿度传感器的制备方法，其特征在于，所述金叉指电极的叉指间距为100μm。
4.根据权利要求1所述的氮化硼基电容式湿度传感器的制备方法，其特征在于，所述氮化硼分散液中的氮化硼为粒径为100～200nm的六方氮化硼纳米片。
5.根据权利要求1所述的氮化硼基电容式湿度传感器的制备方法，其特征在于，步骤s1中，在聚对苯二甲酸乙二醇酯衬底上蒸镀金层的方法具体包括：
6.根据权利要求1所述的氮化硼基电容式湿度传感器的制备方法，其特征在于，步骤s2中，形成叉指电极的过程包括：
7.根据权...
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