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在镀覆装置中除去基板保持架的清洗后残留的清洗液。镀覆装置具备：基板保持架，其保持基板，并具有用于对上述基板进行供电的电接点；保持架清洗槽，其用于在上述基板保持架未保持上述基板时清洗上述基板保持架；保持架干燥槽，其用于使由上述保持架清洗槽清洗...
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