温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本公开涉及一种用于最终抛光设备的保持组件及最终抛光设备。用于最终抛光设备的保持组件包括抛光头和吸附垫，抛光头和吸附垫均是弹性的，吸附垫用于粘接至抛光头以吸附待进行抛光的晶圆，抛光头的用于与吸附垫粘接的表面具有通过第一凸起形成的第一凹凸结构，...
该专利属于西安奕斯伟材料科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟材料科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。