下载一种扩膜装置以及晶圆扩膜机的技术资料

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一种扩膜装置,包括上侧面突设有圆柱型凸部的底座、放置在凸部上的扩膜盘、位于扩膜盘上方并能够压向扩膜盘的压膜盘以及旋转单元,旋转单元包括连接套、旋转电机、导轮和传动带;扩膜盘设置在连接套内并随之转动;连接套套设在凸部外侧;旋转电机安装在底座上...
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