下载一种半导体表面淀积固体膜成型装置及方法的技术资料

文档序号:43458420

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种半导体表面淀积固体膜成型装置及方法,涉及半导体相关技术领域。该装置包括:成型机,所述成型机的上方表面安装有操作台,所述成型机的上方表面固定连接有加工桶,所述加工桶的一侧表面固定连接有连接管,所述成型机的下方表面设置有防潮机构,...
该专利属于上海中欣晶圆半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海中欣晶圆半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。