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本发明提供一种半导体表面淀积固体膜成型装置及方法,涉及半导体相关技术领域。该装置包括:成型机,所述成型机的上方表面安装有操作台,所述成型机的上方表面固定连接有加工桶,所述加工桶的一侧表面固定连接有连接管,所述成型机的下方表面设置有防潮机构,...该专利属于上海中欣晶圆半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海中欣晶圆半导体科技有限公司授权不得商用。
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