下载测定装置、测定方法以及程序的技术资料

文档序号:43457535

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本发明涉及的测定装置(1)具有:控制部(80);以及分光器(10),其具有形成有使得被测定光(L1)通过的开口部(132a)的光学元件,控制部(80)执行至少对被测定光(L1)的光束点(P)在开口部(132a)内处于第1位置(x1)时的第1...
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