测定装置、测定方法以及程序制造方法及图纸

本发明专利技术涉及的测定装置(1)具有：控制部(80)；以及分光器(10)，其具有形成有使得被测定光(L1)通过的开口部(132a)的光学元件，控制部(80)执行至少对被测定光(L1)的光束点(P)在开口部(132a)内处于第1位置(x1)时的第1光谱(S1(i))以及处于第2位置(x2)时的第2光谱(S2(i))进行合成，生成缩窄化的被测定光(L1)的合成光谱(Sr(i))的第1处理，第1位置(x1)包含从光束点(P)的开口部(132a)内的基准位置(x0)向规定方向(D)的一侧偏移后的位置，第2位置(x2)包含从基准位置(x0)向另一侧偏移后的位置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种测定装置、测定方法以及程序。

技术介绍

1、当前，例如为了在波长范围内获得较高的分辨率或者陡峭的滤波特性，已知使被测定光多次射入至衍射格栅且从多个狭缝通过的多路径方式的分光器。

2、例如，在专利文献1中公开了如下分光器，即，一种多路径方式的分光器，抑制在最终的分光路径之前的分光路径中产生的散射光的一部分追随与最终的分光路径中的衍射光相同的光路的情况下产生的、分光特性方面的分辨率以及动态范围的恶化。

3、专利文献1：日本特开2009-175038号公报

4、然而，根据针对被测定光在更广阔的动态范围内获得陡峭的测定光谱的观点，存有进一步改善的余地。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于，提供一种能够针对被测定光的测定光谱而扩大动态范围的测定装置、测定方法以及程序。

2、几个实施方式涉及的测定装置具有：控制部；以及分光器，其具有形成有使得被测定光通过的开口部的光学元件，所述控制部执行执行如下第1处理，即，至少对所述被测定光的光束点在所述开口部内处于本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种测定装置，其中，所述测定装置具有：

2.根据权利要求1所述的测定装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的测定装置，其中，

4.根据权利要求3所述的测定装置，其中，

5.根据权利要求3所述的测定装置，其中，

6.根据权利要求1或2所述的测定装置，其中，

7.根据权利要求6所述的测定装置，其中，

8.根据权利要求7所述的测定装置，其中，

9.根据权利要求6所述的测定装置，其中，

10.根据权利要求6所述的测定装置，其中，

11.根据权利要求10所述的测定装置，其中...

【技术特征摘要】

1.一种测定装置，其中，所述测定装置具有：

2.根据权利要求1所述的测定装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的测定装置，其中，

4.根据权利要求3所述的测定装置，其中，

5.根据权利要求3所述的测定装置，其中，

6.根据权利要求1或2所述的测定装置，其中，

7.根据权利要求6所述的测定装置，其中，

8.根据权利要求7所述的测定装置，其中，

9.根据权利要求6所述的测定装置，其中，

10.根据权利要求6所述的测定装置，其中，

11.根据权利要求10所述的测定装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：石原元太郎，松川弘明，
申请(专利权)人：横河电机株式会社，
类型：发明
国别省市：