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一种处理样品区域的方法，所述方法包含：将样品定位在真空腔室之内；利用聚焦离子束(FIB)柱产生离子束；将离子束聚焦在样品上并且横跨样品区域扫描聚焦离子束，从而产生从区域之内的样品表面射出的二次电子；并且在扫描期间，向靠近所述区域的导电结构施...
该专利属于应用材料以色列公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料以色列公司授权不得商用。

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