下载半导体结构及功率半导体器件的技术资料

文档序号:43453850

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本发明提供了一种半导体结构及功率半导体器件,包括衬底,位于衬底一侧的外延层和栅极结构;位于外延层中的阱区,且阱区位于栅极结构的两侧;位于阱区中的源极区、掺杂区和埋层,源极区和掺杂区自外延层远离衬底的表面向外延层内延伸,埋层位于源极区靠近衬底...
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