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本发明提出了一种基于电子显微镜的测振装置与方法，测振装置通过将测振仪集成在电子显微镜中，不仅实现电子显微镜的多功能化，还能结合电子显微镜的极高分辨率，将现有技术中的振动(特别是低频振动)振幅检测水平提升到纳米到皮米的数量级，并且可以同时测量...
该专利属于南方科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过南方科技大学授权不得商用。

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