【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及振动测量，尤其涉及一种基于电子显微镜的测振装置与方法。
技术介绍
1、振动测量在地震预测、资源勘探、工业生产等方面有重要作用。技术的发展不断需要高精度振动探测技术，目前大部分的振动探测技术在低频端(小于1hz)的探测精度不高。另一方面，电子显微镜(包括扫描电子显微镜sem和透射电子显微镜tem)是一种能够有效地分析样品显微结构的电子光学仪器，目前已经广泛应用于各类高科技的研究当中，具有非常高的空间分辨能力，并且经常工作在静止或者低频状态。基于电子显微镜的测振仪，可以有效弥补其他测振仪在低频端精度不够的劣势。另外，对于电子显微镜本身来讲，因为其使用场地要求较高，评估场地是否满足电子显微镜的使用要求常常需要采购和安装专业的测振装置不方便使用，亟待需要一种能够基于电子显微镜本身的测振装置。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术提出了一种基于电子显微镜的测振装置与方法，解决了现有技术中低频端的振动探测技术精度不高、评估电子显微镜场地测振装置复杂的问题。
2、本专利技术的...
【技术保护点】
1.一种基于电子显微镜的测振装置，其特征在于，包括电子显微镜、标准样品承载装置和探测器，其中，
2.一种基于电子显微镜的测振方法，其特征在于，采用权利要求1所述的基于电子显微镜的测振装置予以实施，包括如下步骤：
3.如权利要求2所述的基于电子显微镜的测振方法，其特征在于，振动测量之前，包括步骤：
4.如权利要求3所述的基于电子显微镜的测振方法，其特征在于，所述标定处理包括步骤：将所述标准样品进行放大倍数为30-120万倍的高倍电子显微镜的标定处理。
5.如权利要求2所述的基于电子显微镜与测振仪的测振方法，其特征在于，所述...
【技术特征摘要】
1.一种基于电子显微镜的测振装置，其特征在于，包括电子显微镜、标准样品承载装置和探测器，其中，
2.一种基于电子显微镜的测振方法，其特征在于，采用权利要求1所述的基于电子显微镜的测振装置予以实施，包括如下步骤：
3.如权利要求2所述的基于电子显微镜的测振方法，其特征在于，振动测量之前，包括步骤：
4.如权利要求3所述的基于电子显微镜的测振方法，其特征在于，所述标定处理包括步骤：将所述标准样品进行放大倍数为30-120万倍的高倍电子显微镜的标定处理。
5.如权利要求2所述的基于电子显微镜与测振仪的测振方法，其特征在于，所述电子束加速时的...
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