下载控制装置、面板搬运系统、控制方法以及程序的技术资料

文档序号:43452679

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本发明提供一种能够顺畅地进行面板的交接的控制装置、面板搬运系统、控制方法以及程序。控制装置(110)具备控制部(111)和存储器(112),控制部(111)使平台(130)沿Z轴方向移动,以使得平台(130)与臂(66)之间的调整距离缩短到...
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