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半导体结构的制作方法技术
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文档序号:43452474
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本发明公开一种半导体结构的制作方法,包括下列步骤。通过对半导体基底的第一区进行图案化而形成多个鳍状结构。在半导体基底的第二区中形成第一浅沟槽,且第一浅沟槽的底部暴露出半导体基底的一部分。进行第一蚀刻制作工艺,多个鳍状结构中的一个的至少一部分...
该专利属于联华电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过联华电子股份有限公司授权不得商用。
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