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本申请涉及半导体生产设备的技术领域，尤其是涉及一种Chiplet工艺用方形板植补球承载台，包括由直线电机进行驱动的X轴运动机构以及Y轴运动机构，Y轴运动机构安装在X轴运动机构上，Y轴运动机构上安装有support平台机构和table台机构，...
该专利属于上海微松工业自动化有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微松工业自动化有限公司授权不得商用。

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