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本发明属于晶圆上下料技术领域，具体的说是一种应用于研磨机台的晶圆上下料装置，包括工作台，所述工作台的内部开设有第一腔体，所述第一腔体的中部固接有底板，所述工作台的一侧滑动连接有若干个固定箱，所述固定箱用于存放晶圆圆片，所述第一腔体内设置有机...
该专利属于无锡芯运智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡芯运智能科技有限公司授权不得商用。

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