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本发明涉及半导体长晶技术领域，具体涉及一种碳材料表面TaC涂层，包括过渡层和表面层，通过将石墨粉、酚醛树脂、环氧树脂、无水乙醇、蒸馏水及硅烷偶联剂混合得到过渡层浆料，将过渡层浆料涂附于碳材料表面，形成过渡层；通过将TaC粉末、氧化硼粉末、酚...
该专利属于杭州幄肯新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州幄肯新材料科技有限公司授权不得商用。

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