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本技术公开的属于检测技术领域，具体为一种用于检测硅片位置的检测装置，包括用于对硅片的位置进行拍摄的摄像头，还包括：用于带动摄像头进行多方位移动的移动组件，且移动组件上安装摄像头，用于对硅片上的杂质进行清理的清理组件，且清理组件设在移动组件上...
该专利属于苏州世点领自动化科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州世点领自动化科技有限公司授权不得商用。

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