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本发明属于传感器技术领域，具体涉及集成自校准结构的高灵敏度加速度传感器及其制备工艺。装置包括质量块、三根硅纳米线、压电陶瓷涂层、电压控制装置、硅纳米线传感器以及自适应校准模块；质量块与三根硅纳米线构成三角结构；电压控制装置，用于施加电压信号...
该专利属于杭州电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过杭州电子科技大学授权不得商用。

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