集成自校准结构的高灵敏度加速度传感器及其制备工艺制造技术

本发明专利技术属于传感器技术领域，具体涉及集成自校准结构的高灵敏度加速度传感器及其制备工艺。装置包括质量块、三根硅纳米线、压电陶瓷涂层、电压控制装置、硅纳米线传感器以及自适应校准模块；质量块与三根硅纳米线构成三角结构；电压控制装置，用于施加电压信号到压电陶瓷涂层，并控制压电陶瓷涂层的振动；硅纳米线传感器，用于获取质量块的形变量数据；自适应校准模块，用于根据测量出质量块的形变量数据和已知的参考加速度计数据计算校准参数。本发明专利技术具有能够提供高精度的校准方式，来提高加速度计的精确性和稳定性的特点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于传感器，具体涉及集成自校准结构的高灵敏度加速度传感器及其制备工艺。

技术介绍

1、加速度计是一种用于测量物体的加速度或重力加速度的传感器。它在众多应用中发挥关键作用，包括导航系统、机动车辆稳定性控制、空间探测器导航、地震监测和运动传感等领域。加速度计的精确度对于这些应用至关重要。

2、然而，加速度计的精确性容易受到多种因素的干扰，如温度变化、机械振动和时间漂移。这些因素会导致加速度计的测量偏差，从而影响应用的准确性和可靠性。因此，校准加速度计以确保其精度和准确性是非常重要的。

3、传统的加速度计校准方法通常包括将加速度计置于已知加速度条件下，然后记录其输出并与已知条件进行比较。然而，这些方法有许多局限性。首先，它们需要特殊的实验设备和条件，不适用于实时校准。其次，它们无法解决温度变化、机械振动和时间漂移等实际环境中的问题，因为这些因素可能导致加速度计性能的变化。

4、压电陶瓷(pzt)是一种具有压电效应的材料，当施加电压时，它可以产生机械振动，反之亦然。这使得pzt成为用于激励和监测振动的理想材料。形变传感本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.集成自校准结构的高灵敏度加速度传感器，其特征在于，包括：质量块、用于支撑质量块的三根硅纳米线、设于质量块底部的压电陶瓷涂层、与压电陶瓷涂层连接的电压控制装置、与质量块连接的硅纳米线传感器以及自适应校准模块；所述质量块与三根硅纳米线构成三角结构；所述电压控制装置，用于施加电压信号到压电陶瓷涂层，并控制压电陶瓷涂层的振动；所述硅纳米线传感器，用于获取质量块的形变量数据；所述自适应校准模块，用于根据测量出质量块的形变量数据和已知的参考加速度计数据计算校准参数。

2.根据权利要求1所述的集成自校准结构的高灵敏度加速度传感器，其特征在于，所述质量块呈三棱锥形。</p>

3.根据...

【技术特征摘要】

1.集成自校准结构的高灵敏度加速度传感器，其特征在于，包括：质量块、用于支撑质量块的三根硅纳米线、设于质量块底部的压电陶瓷涂层、与压电陶瓷涂层连接的电压控制装置、与质量块连接的硅纳米线传感器以及自适应校准模块；所述质量块与三根硅纳米线构成三角结构；所述电压控制装置，用于施加电压信号到压电陶瓷涂层，并控制压电陶瓷涂层的振动；所述硅纳米线传感器，用于获取质量块的形变量数据；所述自适应校准模块，用于根据测量出质量块的形变量数据和已知的参考加速度计数据计算校准参数。

2.根据权利要求1所述的集成自校准结构的高灵敏度加速度传感器，其特征在于，所述质量块呈三棱锥形。

3.根据权利要求1所述的集成自校准结构的高灵敏度加速度传感器，其特征在于，所述质量块由111型的soi硅片制成。

4.根据权利要求1所述的集成自校准结构的高灵敏度加速度传感器，其特征在于，每根硅纳米线的宽度均为10nm-600nm。

5.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘超然，王艺，董林玺，王高峰，韩晶晶，
申请(专利权)人：杭州电子科技大学，
类型：发明
国别省市：