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[课题]本发明的课题在于，提供一种新型的研磨用组合物，其能够减少多晶硅等应被研磨的研磨对象物的残留，并且也能够抑制凹陷。[解决方案]一种研磨用组合物，其为包含胶体二氧化硅、碱金属盐和水的、pH为9.0～11.5的研磨用组合物，其中，(i)所...
该专利属于福吉米株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过福吉米株式会社授权不得商用。

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