下载超高纯四氯化钛的制备系统的技术资料

文档序号:43427200

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本技术提供了一种超高纯四氯化钛的制备系统。该超高纯四氯化钛的制备系统包括:两级液相吸附装置、精馏单元和精密过滤单元,两级液相吸附装置包括串联设置的第一吸附柱和第二吸附柱,第一吸附柱设置有第一进气口,第二吸附柱设置有吸附产物出口,且第一吸附柱...
该专利属于洛阳中硅高科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过洛阳中硅高科技有限公司授权不得商用。

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