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本发明提供恒温液体提供装置，其能够抑制电力消耗。恒温液体提供装置包含：使液体在入口与连结于加工装置的出口之间循环的循环路径；收纳来自入口的液体的容器；送出容器的液体的泵；调整液体的温度的温度调整单元；测量液体的流量的流出量测量部；对是否使液...
该专利属于株式会社迪思科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社迪思科授权不得商用。

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