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本技术硅片合并机构，包括伺服模块，伺服模块通过连接模块连接清洗设备的气动部件；伺服模块配合进行清洗设备的气动部件的缓冲控制，在伺服模块检测到清洗设备的气动部件产生瞬时窜动，对应的进行清洗设备的气动部件的伺服驱动以对应缓冲，形成避免造成硅片倒...
该专利属于中环领先半导体科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中环领先半导体科技股份有限公司授权不得商用。

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