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本发明公开了一种适用于半导体设备的自动水冷系统及其控制方法，系统包括：水箱上设有连接厂务纯水进出的管道，换热器上设有连接厂务冷却水进出的管道，水箱通过带有双泵的管道连接至换热器，双泵并联设置，且双泵均与PLC控制系统连接，双泵的总进电连接到...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十八研究所授权不得商用。

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