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溅镀靶、积层膜的制造方法、积层膜及磁记录媒体技术
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下载溅镀靶、积层膜的制造方法、积层膜及磁记录媒体的技术资料
文档序号:43413999
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本发明涉及溅镀靶、积层膜的制造方法、积层膜及磁记录媒体。具体为,溅镀靶含有Co及Pt作为金属成分,Pt的含量相对于Co的含量的摩尔比为5/100~45/100,且含有Nb2O5作为金属氧化物成分。...
该专利属于JX金属株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过JX金属株式会社授权不得商用。
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