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本发明关于一种用于检测异常(15)的计算机实施方法(10、10’)，该计算机实施方法包含：选择一晶片(120)的成像数据集(12)和一定义机器学习模型(16)用于异常检测的超参数值；通过计算一目标函数值来训练和评估该机器学习模型(16)；选...
该专利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司SMT有限责任公司授权不得商用。

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