温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及半导体生产技术领域,尤其涉及一种连线翻盘装置,包括机架、供料盘进盘模组、供料盘翻转模组、供料盘取送模组、供料盘传送模组、供料盘提篮模组、产品移载模组、归正模组、收料盘缓存模组、收料盘供盘模组、上盖移载模组、收料盘收料模组、收料盘换...该专利属于天津伍嘉联创科技发展股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津伍嘉联创科技发展股份有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及半导体生产技术领域,尤其涉及一种连线翻盘装置,包括机架、供料盘进盘模组、供料盘翻转模组、供料盘取送模组、供料盘传送模组、供料盘提篮模组、产品移载模组、归正模组、收料盘缓存模组、收料盘供盘模组、上盖移载模组、收料盘收料模组、收料盘换...