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本发明公开一种晶圆的混合加工路径的调度方法，半导体芯片制造技术领域，包括以下步骤：构建ROPN模型；建立主机械手死锁处理的约束条件，利用ROPN模型并根据主机械手死锁处理的约束条件建立工艺生产区调度算法；建立取放机械手死锁处理的约束条件，利...
该专利属于湘南学院所有，仅供学习研究参考，未经过湘南学院授权不得商用。

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